單晶爐長晶原理是什么

[2014/4/10]

在單晶爐中可以進行一些操作，如果把高純度的多晶硅原料放在高純度的石英坩堝中，通過加熱器的作用，就會產生高溫，這樣就會把它熔化。如果對熔化的硅液進行降溫處理，就會產生一定程度的過冷度，然后再使用一個硅單晶體插在熔體的表面，需要使用固定在籽晶軸上的硅單晶體?？梢缘冗@籽晶可以和熔體相融合之后，然后慢慢的往上拉動籽晶。然后晶體就會在慢慢的生長，可以生長成為直徑3至5毫米的細頸。

這個細頸可以消除高溫溶液產生的強烈的沖擊作用，這樣就會形成一個錯位，這個過程就是引晶。然后可以把晶體的直徑放大，將其放大到工藝所要求的大小就可以，一般來說，這個長度是75至300毫米，專業術語則可以把它稱為放肩。如果突然將拉速提高的話，使肩部形成一個直角。然后單晶爐就會進入等徑工藝，通過對熱場溫度和晶體來提升下速度，這樣就會生成一定大小的單晶柱體。

如果很多硅溶液已經完成了結晶，就可以把晶體慢慢的縮小，直到縮小為一個尾形的椎體就可以了，一般這個尾形椎體也被稱為收尾工藝。這樣就可以把單晶的拉制過程完成操作，然后再經過一定的保溫冷卻就可以將其取出來了。

編輯：wq

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